築城年代は定かではないが一柳氏によって築かれた。
伊予川之江藩一柳氏が飛領地である播磨加東郡小野を管理するために設けた陣屋であったが、寛永19年(1642年)一柳直家が嗣子なく没して改易となるところ、加東郡一万石に減封のうえ、養子直次への家督相続が認められた。
一柳直次は当初この敷地陣屋を藩庁としていたが、承応2年(1653)に小野陣屋を築いて移、敷地陣屋は廃止となった。
敷地陣屋は現在の敷地町公民館のあたりに築かれていた。河岸段丘の端に位置しているが遺構はなく、公民館の一角に石碑が立つのみである。