慶長5年(1600年)江戸幕府によって築かれた。幕府の代官所として築かれたのが始まりで、曽根源蔵が代官を務め、その後に安藤弥兵衛、彦坂九兵衛、中川勘介らが代官となった。
寛永2年(1625年)旗本の島田成重が二千石を賜り、三河の代官所の一部を陣屋として継承した。その後、島田氏が代々続いて明治に至る。
島田陣屋は津嶋神社の南東側の区画に築かれていた。 現在は北端の土塁の部分に島田陣屋跡の標柱がある。『愛知県中世城館跡調査報告』には「南端に約50mの石垣が遺存する。」と記載されているが、見つけられなかった。
近くの夷則寺に陣屋門が移築されている。
表門(移築 城門)