寛文9年(1669年)戸川安成によって築かれた。もともとは須浜城という中世の城があった場所で、陣屋は三の丸に築かれている。

備中国庭瀬で二万二千五百石を領した戸川正安の次男安成が妹尾に千五百石を分与され陣屋を構えた事に始まる。

撫川の本家は四代続いて嗣子なく改易となったが、妹尾戸川氏は八代続いて明治に至る。

陣屋は妹尾駅の北方にある丘陵に築かれている。現在は井戸が残っており市指定文化財となっている。この井戸の北側に高台があり、その入口が桝型の雰囲気がある。西にある盛隆寺は戸川氏の菩提寺で本堂の北側に戸川氏の墓所がある。